产品特点
• 单极式减压器
• 表面光洁度15μin. Ra Max, 10μin. Ra Average,
(10μin. Ra Max / 7μin. Ra Max / 5μin. Ra Max 可选)
• 内部无死角
• 材质分别由不锈钢SS 316L,哈氏合金C276和PCTFE制成
• 压力表与本体直接连接
• 流量参考:15 slpm(标准),30 slpm(可选)
• 100%氦气泄漏检测
技术参数
• 类型:单极式减压
• 进气压力P1:真空压力至150 psig
• 进气压力P2:10/30/60/100 psig
• 表面光洁度:15μin. Ra Max, 10μin. Ra Average, (10μin. Ra Max / 7μin. Ra Max / 5μin. Ra Max 可选)
材质
• 母体:详见订购参数
• 阀座:PCTFE(Vespel®可选)
• 膜片:Hastelloy® C276
• 1/4" VFS接头或焊接接管
• 温度适用:-40oF to +160oF (-40oC to + 71oC)
• 泄漏率:(外部) 1x10-9 mbar I/s He (内部) 1x10-8 mbar I/s He
• 流量参数:Cv=0.06 (Cv=0.1可选)
• 重量:约1.35kg
• 供应效应:Cv=0.06 进气压力每下降20 psig,出气压力上升0.2 psig;
Cv=0.1 进气压力每下降20 psig,出气压力上升0.4 psig